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    • 电阻率量测仪

    WRS系列为非接触式电阻率量测设备，适配多种晶圆尺寸，有多种量测功能。自动读取Wafer ID，采用非接触高精度涡电流传感器测量体积电阻率，识别PN Type。

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  • 各种尺寸晶圆量测

  • 自动量测

  • Excel、CSV报表输出

  • 读取Wafer ID

  • 测量体积电阻率

  • 识别PN Type

    • 设备规格

    **设备规格可配合客户需求订制，欢迎来电洽询。**

    专门应用


    · 硅片

    · 碳化硅

    · 玻璃

    · 薄膜


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