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WRS系列为非接触式电阻率量测设备,适配多种晶圆尺寸,有多种量测功能。自动读取Wafer ID,采用非接触高精度涡电流传感器测量体积电阻率,识别PN Type。
各种尺寸晶圆量测
自动量测
Excel、CSV报表输出
读取Wafer ID
测量体积电阻率
识别PN Type
**设备规格可配合客户需求订制,欢迎来电洽询。**
· 硅片
· 碳化硅
· 玻璃
· 薄膜
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